- 인텔과 일본의 국립연구기관인 산업기술종합연구소(산종연)가 첨단 반도체 제조 장비와 소재 연구개발 거점을 일본에 설치 방침. 반도체는 경제 안보의 중요 물자로, 유럽과 미국 등에서 얻은 연구 데이터를 일본으로 이전하기 위한 심사가 까다로워지고 있음. 일본국내에 최첨단 설비를 갖춘 거점을 만들어 제조 장비와 소재를 쉽게 개발할 수 있도록 하겠다는 생각.
- 새 거점은 3~5년 후에 설립될 예정으로, 극자외선(EUV) 노광장비를 일본 연구기관 최초로 도입. 이 장비는 회선폭이 5나노 이하인 최첨단 반도체 생산에 필수적. 산종연이 운영 주체가 되고, 인텔이 EUV를 이용한 반도체 제조 노하우 등을 제공. 총 투자액은 수백억 엔 규모가 될 전망.
- 기업이 이용료를 지불하고 EUV를 이용해 시제품 제작과 시험을 실시. 새 거점에서는 미국 연구기관과의 기술 협력과 인력 교류도 검토함.
- 일본국내에서는 첨단 반도체 양산을 목표로 하는 라피다스가 ‘24년 12월 제조용 EUV 장비를 도입했으나, 연구기관은 EUV를 보유하지 않음.
- EUV 장비 가격은 1대당 400억 원이 넘는 규모. 소재 및 장비 업체가 자체적으로 구매하기 어려워 imec 등 해외 연구기관의 EUV 장비를 이용해 개발을 진행하고 있음